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選択した画像 クライオポンプ 原理 244734-クライオポンプ 原理
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作動原理 水蒸気は130K以下であれば、蒸気圧は108 Pa以下となり、80K以下に冷却された シールドとバッフルで排気されます。 (下図蒸気圧曲線参照) このように水分子が理想的に排気されるため、クライオポンプは水に対して大きな 排気速度を持っています。③クライオポンプから異音...
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